这是关于通过 IRIS(红外原位)技术为用户提供信任硬件的有形理由的系列文章的一部分,用于芯片的无损检测。之前讨论了聚焦阶段、光源和方法学。
光源设计:文中介绍了 IRIS 光源的电子设计,得出需要连续可变的 2 轴机械定位解决方案的结论,此篇深入探讨该机械定位解决方案的细节。
- 天顶控制:通过丝杠驱动连杆到光源,光源安装在沿机械轨道移动的穿梭车上,以调整光源相对于芯片表面的高度,类似于曲轴上的活塞或其他凸轮跟随机构。
- 方位控制:设计方位调整机制比天顶控制更复杂,需围绕中心静态显微镜管同轴旋转。最终采用滑轮驱动安装在同轴轴承上的组件,通过阅读机械零件目录和观看视频获得灵感,克服了构建外移动组件同轴轴承的挑战,使用双 Vertiq 23-06 2200KV 位置模块减少重量,用三个凸轮跟随轮构建轴承,通过电缆与步进电机耦合驱动旋转组件。
- 整合与实践:Jubilee 是开源科学平台,设计文件可编辑,整合修改方便,组装说明详细清晰,能节省时间。文中展示了完整系统的模型及动作演示视频,目前设计仍有一些不足之处,如控制软件的小bug 和光源焦点的偏移,未来将增加 1064nm 激光光源,虽有成本和出口控制等缺点,但能改善成像效果。此篇结束了关于当前 IRIS 机器机械和电气设计的讨论,后续将讨论控制和分析软件。最后感谢 NLnet 和 Github 赞助商使研究得以进行。
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